Analysis of research status and development trends in oxide semiconductor thin-film transistors

XIONG Yuting; REN Junyan; LIANG Lingyan; CAO Hongtao

doi:10.37188/CJLCD.2026-0036

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Analysis of research status and development trends in oxide semiconductor thin-film transistors

Device Physics and Device Preparation | 更新时间：2026-09-12

- Analysis of research status and development trends in oxide semiconductor thin-film transistors
- Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays Vol. 41, Issue 4, Pages: 509-522(2026)
- 作者机构：
  
  1.中国科学院宁波材料技术与工程研究所原子尺度与微纳制造实验室，浙江宁波 315201
  2.中国科学院大学材料科学与光电技术学院，北京 100049
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  National Key Research and Development Program of China(2024YFB3614200)
- DOI：10.37188/CJLCD.2026-0036
  CLC： TN321⁺.5
- CSTR：32172.14.CJLCD.2026-0036
- Received：13 March 2026，
  
  Revised：2026-03-20，
  
  Published：05 April 2026
- 稿件说明：
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XIONG Yuting, REN Junyan, LIANG Lingyan, et al. Analysis of research status and development trends in oxide semiconductor thin-film transistors[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2026, 41(4): 509-522.
DOI：

XIONG Yuting, REN Junyan, LIANG Lingyan, et al. Analysis of research status and development trends in oxide semiconductor thin-film transistors[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2026, 41(4): 509-522. DOI： 10.37188/CJLCD.2026-0036. CSTR： 32172.14.CJLCD.2026-0036.

摘要

氧化物半导体薄膜晶体管（Oxide Semiconductor Thin-film Transistor， OS TFT）以其高迁移率、优良均匀性与低制造成本等优势，已成为高端显示技术的核心驱动元件，并逐步向传感、存储、类脑计算等集成系统领域拓展。本文基于Web of Science与Incopat数据库，对2016~2025年间的OS TFT领域的科研论文与专利数据进行了系统性分析。研究发现，全球研发活动高度集中于东亚地区，中国与韩国在论文与专利产出方面领先。然而，该领域存在明显的学术-产业失衡：90%以上论文来自高校及科研院所，而81.01%的专利由企业持有，产学研转化不足。同时，专利集中度偏低，技术壁垒尚未形成；上游关键材料溅射靶材仍由日本主导（占比54.55%），对中国产业链安全构成潜在风险。未来，OS TFT将突破传统显示驱动，与传感、存储与类脑计算等领域深度融合，本文就其在这些领域中的发展趋势及存在问题进行了分析。

Abstract

Oxide semiconductor thin-film transistor（OS TFT） has become a core driving component of high-end display technology due to its advantages such as high mobility， excellent uniformity and low manufacturing cost， and is gradually expanding into integrated system fields such as sensors， memory， and neuromorphic computing. Based on the Web of Science and Incopat databases， this paper conducts a systematic analysis on the scientific research papers and patent data in the field of OS TFT from 2016 to 2025. Research has found that global R&D activities are highly concentrated in East Asia， with China and South Korea leading in the output of papers and patents. However， there is a clear academic-industry imbalance in this field： over 90% of the papers come from universities and research institutes， while 81.01% of the patents are held by enterprises， and the transformation of research into applications is insufficient. Meanwhile， the concentration of patents is relatively low， and technological barriers have yet to be formed. The key upstream material， sputtering targets， are still dominated by Japan （accounting for 54.55%）， posing a potential risk to the security of China’s industrial chain. In the future， OS TFT is poised to move beyond conventional display driving， forging deep convergence with sensor， memory， and neuromorphic computing.

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