球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

高金海; 张武勤; 李桢; 张兵临

doi:10.3788/YJYXS20163109.0877

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

材料与器件 | 更新时间：2020-07-07

- 球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究
- Preparation process and field emission properties of globular micron diamond
- 液晶与显示 2016年31卷第9期页码：877-881
- 作者机构：
  
  1.郑州师范学院物理与电子工程学院, 河南郑州 450044
  2.郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室, 河南郑州 450052
- 作者简介：
  
  高金海(1970-),男,河北廘泉人,副教授,博士,从事阴极场电子发射的研究。E-mail:1807873007@qq.com
- 基金信息：
  
  教育部科学技术重点资助项目(No.205091);河南省科学技术成果项目(教高豫科鉴委字[2015]第569号);河南省高等学校重点科研项目(项目编号：16A140039);Ministry of Education of Science and Technology Key Projects(No.205091);Henan Province Scientific and Technological Achievements Project(No.〔2015〕569);Colleges and Universities in Henan Province Key Scientific Research Project(No.16A140039)
- DOI：10.3788/YJYXS20163109.0877
  中图分类号： TB383;O484
- 收稿日期：2016-04-14，
  
  录用日期：2016-5-27，
  
  纸质出版日期：2016-09
- 稿件说明：
移动端阅览
高金海, 张武勤, 李桢, 等. 球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究[J]. 液晶与显示, 2016,31(9):877-881.

Jin-hai GAO, Wu-qin ZHANG, Zhen LI, et al. Preparation process and field emission properties of globular micron diamond[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2016, 31(9): 877-881.
高金海, 张武勤, 李桢, 等. 球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究[J]. 液晶与显示, 2016,31(9):877-881. DOI： 10.3788/YJYXS20163109.0877.

Jin-hai GAO, Wu-qin ZHANG, Zhen LI, et al. Preparation process and field emission properties of globular micron diamond[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2016, 31(9): 877-881. DOI： 10.3788/YJYXS20163109.0877.

摘要

在纯平的陶瓷衬底上面，利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后，放入微波等离子体化学气相沉积腔中，利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜，通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器

研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等，得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。

Abstract

A layer of thick metal titanium is plated on the flat ceramic substrate by the method of magnetron sputtering. After processing

the surface defect of metal titanium layer put in the cavity of microwave plasma chemical vapor deposition. Using the method of orthogonal experiment

the thin film of best emission is prepared. By scanning electron microscopy

X-ray diffraction instrument

Raman spectroscopy instrument

the thin film is analyzed. The conclusion of the film is globular micron diamond film. And the film mechanism of field emission is studied.

关键词

Keywords

references

张天翼,许军,董佳垚.胆甾型液晶显示技术和产业发展[J].液晶与显示,2011,26(6):741-745.

ZHANG T Y,XU J,DONG J Y.Overview of technology and industry for cholesteric liquid crystal display[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2011,26(6):741-745.(in Chinese)

FINK R L,TOLT Z L,YANIV Z.The status and future of diamond thin film FED[J]. Surface and Coatings Technology, 1998,108-109:570-576.

SPINDT C A.A thin-film field-emission cathode[J]. Journalof Applied Physics ,1968,39(7):3504-3505.

GAO J H,ZHANG L,ZHAO L M, et al. Growth and field emission properties of globe-like diamond microcrystalline-aggregate[J]. Apply Surface Science ,2009,255(8):4421-4424.

GAO J H,ZHAO L M,HAO H S.Field emission properties of the globe-like diamond microcrystalline aggregate films grown by MPCVD[J]. PhysciaB, 2010,405(1):318-321.

HIMPSEL F J,KNAPP J A,VANVECHTEN J A, et al. Quantum photoyield of diamond (111)-a stable negative-affinity emitter[J]. PhysicalReviewB ,1979,20(2):624-627.

GRUEN D M.Nanocrystalline diamond films[J]. Annual Review of Materials Science, 1999,29:211-259.

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

过渡层对类球状微米金刚石聚晶的场发射影响