TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响

陈国; 韩亚军; 于洪禄; 丁振勇; 王鹏; 郑铁元; 李伟

doi:10.3788/YJYXS20193412.1161

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TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响

材料与器件 | 更新时间：2020-07-16

- TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响
- Effect of TFT-LCD developer parameters on halftone thickness
- 液晶与显示 2019年34卷第12期页码：1161-1165
- 作者机构：
  
  北京京东方显示技术有限公司, 北京 100176
- 作者简介：
  
  [ "陈国(1985—), 男, 山东济南人, 硕士, 高级工程师, 2010年于中国矿业大学(北京)获得硕士学位, 主要从事液晶显示面板阵列工艺及不良分析改善。E-mail:chenguo@boe.com.cn" ]
- 基金信息：
- DOI：10.3788/YJYXS20193412.1161
  中图分类号： TN305.7
- 收稿日期：2019-05-09，
  
  录用日期：2019-9-29，
  
  纸质出版日期：2019-12-05
- 稿件说明：
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陈国, 韩亚军, 于洪禄, 等. TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响[J]. 液晶与显示, 2019,34(12):1161-1165.

Guo CHEN, Ya-jun HAN, Hong-lu YU, et al. Effect of TFT-LCD developer parameters on halftone thickness[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2019, 34(12): 1161-1165.
陈国, 韩亚军, 于洪禄, 等. TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响[J]. 液晶与显示, 2019,34(12):1161-1165. DOI： 10.3788/YJYXS20193412.1161.

Guo CHEN, Ya-jun HAN, Hong-lu YU, et al. Effect of TFT-LCD developer parameters on halftone thickness[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2019, 34(12): 1161-1165. DOI： 10.3788/YJYXS20193412.1161.

摘要

通过对TFT-LCD行业用显影液浓度（质量分数）

和其中酸根离子浓度（质量分数）

与半色调光刻胶膜厚（Half Tone Thickness，THK）的影响研究，提出了改善THK波动的方法。首先，固定光刻工艺生产条件，采用单因素实验法分别对

和

对THK的影响进行试验，研究表明，

、

的变化都会影响显影液的显影能力，导致THK的变化，且都呈线性负相关。其次，根据

和

变化对THK的影响程度，将二者之间建立公式对应关系，通过系统对

进行调整，改善

波动的影响。最终将关系公式导入系统，稳定了显影能力，有效改善了THK的波动，沟道相关不良发生率从0.20%以上降低到0.03%以下。

Abstract

The influence of concentration (mass fraction

) and concentration of acid radical ion (mass fraction

) of TFT-LCD developer on Halftone THK is researched

and the way to improve THK fluctuations is put forward. Firstly

the production conditions of lithography process are fixed

then the influence of THK with

and

is respectively tested using the single factor experimental method. Studies show that the changes of

and

will affect the developer's development ability and lead to the changes of THK. THK with

and

are both linear negative correlation. Secondly

according to the influence degree of

and

changes on THK

the formula corresponding relations between the two is established. The

is adjusted through the system and then the

fluctuations are improved. Lastly

the development ability and the THK fluctuations are stable through putting the formula into the system which make channel related incidence reduced to below 0.03% from more than 0.20%.

关键词

Keywords

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