TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计

王国磊; 陈鹏; 李恒滨; 王景棚; 杜化鲲; 马力; 宋红花; 王勇辉; 张熠点; 李宁

doi:10.3788/YJYXS20193408.0733

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TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计

材料与器件 | 更新时间：2020-12-14

- TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计
- ESD related defects analysis and improvement design solution in TFT-LCD rubbing process
- 液晶与显示 2019年34卷第8期页码：733-738
- 作者机构：
  
  合肥鑫晟光电科技有限公司, 安徽合肥, 230012
- 作者简介：
  
  [ "王国磊(1982-), 男, 山东潍坊人, 硕士, 资深高级研究员, 2009年于吉林大学获得硕士学位, 主要从事液晶显示器驱动背板相关设计。E-mail:wangguolei@boe.com.cn" ]
- 基金信息：
- DOI：10.3788/YJYXS20193408.0733
  中图分类号： TN141.9
- 收稿日期：2019-03-26，
  
  录用日期：2019-5-8，
  
  纸质出版日期：2019-08-05
- 稿件说明：
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王国磊, 陈鹏, 李恒滨, 等. TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计[J]. 液晶与显示, 2019,34(8):733-738.

Guo-lei WANG, Peng CHEN, Heng-bin LI, et al. ESD related defects analysis and improvement design solution in TFT-LCD rubbing process[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2019, 34(8): 733-738.
王国磊, 陈鹏, 李恒滨, 等. TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计[J]. 液晶与显示, 2019,34(8):733-738. DOI： 10.3788/YJYXS20193408.0733.

Guo-lei WANG, Peng CHEN, Heng-bin LI, et al. ESD related defects analysis and improvement design solution in TFT-LCD rubbing process[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2019, 34(8): 733-738. DOI： 10.3788/YJYXS20193408.0733.

摘要

本文对摩擦工艺过程中的线不良进行了分析，通过切割验证、设计方案变更验证了降低ESD风险的两个方向。通过实际的验证结果分析发现，减小填充图形的面积或者将填充图形连接到公共电极，同时搭配填充图形到信号线的距离增加到大于60 μm，可以大大降低静电放电发生的概率，不良率由20%降低到0%。结果充分表明，此设计方案可应用于实际产品设计中以降低摩擦工艺过程中的ESD风险。

Abstract

In this paper

the line defects in the TFT-LCD rubbing process are analyzed

and the two directions of reducing ESD(Electro Static Discharge) risk are verified by cutting verification and design change. Through the analysis of the actual verification results

it is found that reducing the area of the Dummy pattern or connecting the dummy pattern to

com

and improving the distance from the Dummy pattern to the signal line above 60 μm

can greatly reduce the probability of ESD occurrence

and the defect ratio is reduced from 20% to 0%. The results fully demonstrate that this design can be applied to the actual product design to reduce the ESD risk during the rubbing process.

关键词

Keywords

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