TFT-LCD曝光工艺参数TP实验研究

董小龙; 张兴强; 江俊波; 王军才

doi:10.3788/YJYXS20173210.0783

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TFT-LCD曝光工艺参数TP实验研究

材料科学 | 更新时间：2020-08-12

- TFT-LCD曝光工艺参数TP实验研究
- Experimental research on exposure process parameter of total pitch in TFT-LCD process
- 液晶与显示 2017年32卷第10期页码：783-786
- 作者机构：
  
  成都京东方光电科技有限公司, 四川成都 611731
- 作者简介：
  
  [ "董小龙(1988-), 男, 吉林省吉林市人, 硕士研究生, 中级工程师, 2015年毕业于长春理工大学并获得硕士学位, 现主要从事光刻设备维护及改善工作。E-mai:dongxiaolong@boe.com.cn" ]
- 基金信息：
- DOI：10.3788/YJYXS20173210.0783
  中图分类号： TN305.7
- 收稿日期：2017-04-24，
  
  录用日期：2017-6-20，
  
  纸质出版日期：2017-10-05
- 稿件说明：
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董小龙, 张兴强, 江俊波, 等. TFT-LCD曝光工艺参数TP实验研究[J]. 液晶与显示, 2017,32(10):783-786.

Xiao-long DONG, Xing-qiang ZHANG, Jun-bo JIANG, et al. Experimental research on exposure process parameter of total pitch in TFT-LCD process[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2017, 32(10): 783-786.
董小龙, 张兴强, 江俊波, 等. TFT-LCD曝光工艺参数TP实验研究[J]. 液晶与显示, 2017,32(10):783-786. DOI： 10.3788/YJYXS20173210.0783.

Xiao-long DONG, Xing-qiang ZHANG, Jun-bo JIANG, et al. Experimental research on exposure process parameter of total pitch in TFT-LCD process[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2017, 32(10): 783-786. DOI： 10.3788/YJYXS20173210.0783.

摘要

从Total Pitch（TP）的理论含义与监控原理出发，通过对相同Device下Pitch量和TP测试Mark的更改，讨论了

方向以及

方向TP的变化。通过相同Lay out不同产品和相同产品不同Lay out的对比，发现TP并不随着Pitch量的改变而变化，但设备扭曲度（Distortion）影响着TP的变化，由此TP也可称为Distortion在实际生产中的简化监测点，并且得到TP从NG到OK变化的pitch量区间，这也为降低图形在基板上的扭曲程度和优化Mask设计提供了新思路。

Abstract

Based on the theories and monitoring principle of Total Pitch (TP)

we discussed the

direction and

direction variation of TP

which changed by pitch value and TP measurement mark. By contrasting the same lay out but different product with the same product but different lay out

we found that TP does not change with the variation of pitch value. However

distortion affects the variation of TP

which can also be called a simplified monitoring points of distortion in the actual process. The acquisition of the interval of TP from NG to OK provides a new idea of optimizing mask design and reducing the distortion of graphics on the glass.

关键词

Keywords

references

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