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具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究
材料与器件 | 更新时间:2020-07-07
    • 具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究

    • Manufacturing execution system with the parameter control of TFT LCD equipments

    • 液晶与显示   2016年31卷第12期 页码:1118-1123
    • DOI:10.3788/YJYXS20163112.1118    

      中图分类号: TN873+.93
    • 收稿日期:2016-08-30,

      录用日期:2016-10-18,

      纸质出版日期:2016-12-05

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  • 陈蔚, 张雯旭, 冯举, 等. 具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究[J]. 液晶与显示, 2016,31(12):1118-1123. DOI: 10.3788/YJYXS20163112.1118.

    Wei CHEN, Wen-xu ZHANG, Ju FENG, et al. Manufacturing execution system with the parameter control of TFT LCD equipments[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2016, 31(12): 1118-1123. DOI: 10.3788/YJYXS20163112.1118.

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