大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究

刘晓伟; 田明; 李梁梁; 付艳强; 郭会斌; 刘耀; 袁剑峰

doi:10.3788/YJYXS20163111.1033

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大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究

材料与器件 | 更新时间：2020-08-12

- 大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究
- Analysis and improvement of a larger size TFT-LCD block mura
- 液晶与显示 2016年31卷第11期页码：1033-1037
- 作者机构：
  
  福州京东方光电科技有限公司, 福建福州 350000
- 作者简介：
  
  刘晓伟(1988-), 男, 江苏宿迁人, 硕士, 工程师, 从事TFT-LCD工艺研究。liuxiaowei@boe.com.cn
- 基金信息：
- DOI：10.3788/YJYXS20163111.1033
  中图分类号： TN87
- 收稿日期：2016-05-26，
  
  录用日期：2016-8-12，
  
  纸质出版日期：2016-11
- 稿件说明：
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刘晓伟, 田明, 李梁梁, 等. 大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究[J]. 液晶与显示, 2016,31(11):1033-1037.

Xiao-wei LIU, ming TIAN, Liang-liang LI, et al. Analysis and improvement of a larger size TFT-LCD block mura[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2016, 31(11): 1033-1037.
刘晓伟, 田明, 李梁梁, 等. 大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究[J]. 液晶与显示, 2016,31(11):1033-1037. DOI： 10.3788/YJYXS20163111.1033.

Xiao-wei LIU, ming TIAN, Liang-liang LI, et al. Analysis and improvement of a larger size TFT-LCD block mura[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2016, 31(11): 1033-1037. DOI： 10.3788/YJYXS20163111.1033.

摘要

研究了大尺寸薄膜晶体管液晶显示器产品开发中遇到的一种新的条状显示不均。通过扫描电子显微镜、四探针测试仪和分光光度计设备对这种显示不均进行了分析，这种显示不均与薄膜晶体管阵列基板上的金属配线的膜厚周期性波动有关，金属膜厚的周期性波动导致了液晶显示器的液晶盒盒厚的不均匀，从而造成显示不均。这种膜厚的周期性波动与液晶高世代线广泛采用的平面靶材溅射设备构造有关。通过对设备结构的改造，提高了基板面内的金属膜厚的均一性，改善了此不良。

Abstract

A new unknown block mura of large size TFT-LCD has been studied in this paper. The mura was observed by SEM

Four-probe tester and Spectrophotometer. It is caused by the periodic changing of TFT metal line thickness. The periodic changing of metal line thickness led to the changing of LCD cell gap

influencing display quality of TFT-LCD. The periodic changing metal line thickness is caused by adopting the structure of a kind of flat target magnetron sputter equipment

which is used in large size TFT-LCD production line widely. The thickness uniformity of metal line was improved by modifying the equipment structure. The mura disappeared after the thickness uniformity is improved.

关键词

Keywords

references

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