未确认Mura分析及改善对策

徐伟; 彭毅雯; 肖光辉

doi:10.3788/YJYXS20112605.0612

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未确认Mura分析及改善对策

器件制备技术及器件物理 | 更新时间：2020-08-12

- 未确认Mura分析及改善对策
- Analysis and Improvement of Unknown Mura
- 液晶与显示 2011年26卷第5期页码：612-615
- 作者机构：
  
  1. 北京京东方光电科技有限公司北京,100176
  2. 清华大学电子工程系北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.3788/YJYXS20112605.0612
  中图分类号： TN141.9
- 收稿日期：2011-06-10，
  
  修回日期：2011-06-22，
  
  网络出版日期：2011-10-20，
  
  纸质出版日期：2011-10-20
- 稿件说明：
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徐伟, 彭毅雯, 肖光辉. 未确认Mura分析及改善对策[J]. 液晶与显示, 2011,26(5): 612-615

XU Wei, PENG Yi-wen, XIAO Guang-hui. Analysis and Improvement of Unknown Mura[J]. , 2011,26(5): 612-615
徐伟, 彭毅雯, 肖光辉. 未确认Mura分析及改善对策[J]. 液晶与显示, 2011,26(5): 612-615 DOI： 10.3788/YJYXS20112605.0612.

XU Wei, PENG Yi-wen, XIAO Guang-hui. Analysis and Improvement of Unknown Mura[J]. , 2011,26(5): 612-615 DOI： 10.3788/YJYXS20112605.0612.

摘要

未确认Mura是一种能够影响TFT-LCD 画面品质的不良。文章对未确认Mura不良进行了详细的分析

认为扇形区域出现有源层残留是导致未确认Mura不良发生的原因

介绍了一种通过变更曝光工艺条件来解决此种不良的方法

并通过试验论证了此方法的量产可行性。

Abstract

As to the TFT-LCD and other display monitors

Mura is a relatively normal defect which will degrade the display quality greatly. The analysis of the unknown Mura

indicated that the active remain in the Fan-out area are the main reason of the unknown Mura

and a novel method is introduced to solve this defect by changing the condition of Photo process. The mass production feasibility of this method has been demonstrated through experimentation.

关键词

Keywords

references

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