应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料

周伟峰; 薛建设; 明星; 刘翔; 郭建; 谢振宇; 赵承潭; 陈旭; 闵泰烨

doi:10.3788/YJYXS20112601.0019

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应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料

器件制备技术及器件物理 | 更新时间：2020-08-12

- 应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料
- Low Dielectric Acrylate Resin as Passivation Layer on TFT-LCD
- 液晶与显示 2011年26卷第1期页码：19-22
- 作者机构：
  
  京东方科技集团技术研发中心,北京 1001762. 北京京东方光电科技有限公司北京,100176
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.3788/YJYXS20112601.0019
  中图分类号： O436.1;TN141.9
- 收稿日期：2010-04-21，
  
  修回日期：2010-05-27，
  
  网络出版日期：2011-02-20，
  
  纸质出版日期：2011-02-20
- 稿件说明：
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周伟峰, 薛建设, 明星, 刘翔, 郭建, 谢振宇, 赵承潭, 陈旭, 闵泰烨. 应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料[J]. 液晶与显示, 2011,26(1): 19-22

ZHOU Wei-feng, XUE Jian-she, MING Xing, LIU Xiang, GUO Jian, XIE Zhen-yu, ZHAO Cheng-tan, CHEN Xu, MIN Tai-ye. Low Dielectric Acrylate Resin as Passivation Layer on TFT-LCD[J]. , 2011,26(1): 19-22
周伟峰, 薛建设, 明星, 刘翔, 郭建, 谢振宇, 赵承潭, 陈旭, 闵泰烨. 应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料[J]. 液晶与显示, 2011,26(1): 19-22 DOI： 10.3788/YJYXS20112601.0019.

ZHOU Wei-feng, XUE Jian-she, MING Xing, LIU Xiang, GUO Jian, XIE Zhen-yu, ZHAO Cheng-tan, CHEN Xu, MIN Tai-ye. Low Dielectric Acrylate Resin as Passivation Layer on TFT-LCD[J]. , 2011,26(1): 19-22 DOI： 10.3788/YJYXS20112601.0019.

摘要

将具有低介电常数的丙烯酸酯树脂作为薄膜晶体管液晶显示器的钝化层整合到阵列基板中。与传统的SiN

薄膜(

7)相比

丙烯酸酯树脂钝化层具有平坦的表面

其低介电常数(

4.5)可以降低器件的RC延迟

这都将有利于提高薄膜晶体管液晶显示器的开口率

从而提高显示器的亮度

降低能耗和制作成本。

Abstract

A low dielectric material

acrylate resin has been investigated as a passivation dielectric layer for thin-film transistor (TFT) arrays in this paper. Compared with the conventional nitride film (SiN

the acrylate resin passivation layer exhibits a flat surface and a low dielectric constant (

4.5) which lowers the RC delay in a device. The high transmittance and good planarization characteristics of the low dielectric acrylate resin film enhance the brightness and aperture ratio of thin film transistors liquid crystal displays (TFT-LCDs)

and lower the manufacture cost.

关键词

Keywords

references

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