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基于探针法的FED电极缺陷检测系统设计
器件制备技术及器件物理 | 更新时间:2020-08-12
    • 基于探针法的FED电极缺陷检测系统设计

    • Design of Defect Inspection System for FED Electrodes Based on Probe Method

    • 液晶与显示   2010年25卷第2期 页码:215-219
    • 中图分类号: TP391
    • 收稿日期:2009-08-19,

      修回日期:1900-01-02,

      网络出版日期:2010-04-30,

      纸质出版日期:2010-04-30

    移动端阅览

  • 张永爱;张 杰;许华安;姚 亮;郭太良. 基于探针法的FED电极缺陷检测系统设计[J]. 液晶与显示, 2010,25(2): 215-219 DOI:

    ZHANG Yong-ai;ZHANG Jie;XU Hua-an;YAO Liang;GUO Tai-liang. Design of Defect Inspection System for FED Electrodes Based on Probe Method[J]. 液晶与显示, 2010,25(2): 215-219 DOI:

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相关作者

郭太良
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福建江夏学院 电子信息科学学院
中国福建光电信息科学与技术创新实验室
福州大学 物理与信息工程学院
河北工业大学 理学院, 天津 300401
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