Les micro et nanostructures jouent un rôle important dans de nombreux domaines, en particulier dans les domaines de l'optique, des capteurs et des affichages. Malgré l'existence de nombreuses technologies pour la fabrication de micro et de nanostructures, la question de savoir comment construire ces structures de manière simple et économique pose encore un défi. Face à ce problème, cet article propose un concept fondé sur un contrôle d'orientation calculé de cristaux liquides, réussissant à réaliser la préparation de masques à la demande. Plus précisément, le contrôle de la distribution d'absorption de la lumière polarisée à l'aide de la technique d'orientation de la lumière par cristaux liquides, en contrôlant l'orientation des molécules de cristaux liquides par la technique d'orientation optique, permet de contrôler spatialement l'intensité du champ lumineux d'entrée, formant un masque fragmenté. Celui-ci est introduit dans le système d'écriture directe au laser, et parvient à former diverses structures géométriques de micro et nanostructures sur la surface d'une émulsion photosensible. Les structures fabriquées sont parfaitement conformes au masque conçu, démontrant la capacité de fabrication à l'échelle micrométrique (taille de caractéristique 5 µm), et sur la base des micro et nanostructures fabriquées à partir de cristaux liquides, elles peuvent stabiliser la diffraction dans des conditions de longueur d'onde courte. Ce résultat prouve en outre que le masque de cristaux liquides conçu peut contrôler précisément la distribution spatiale du champ optique, assurant un contrôle précis de l'intensité lumineuse d'entrée. Cette recherche offre une nouvelle approche pour le traitement économique et pratique des microstructures, ouvrant la voie au développement de technologies de fabrication rapide de structures micro et nanoscopiques complexes.
关键词
cristaux liquides; masque; orientation de la lumière; micro et nanostructures