基于图案化宾主液晶的光刻掩膜板制备

王俊辉; 刘璇; 段霞; 李博远; 袁丛龙; 郑致刚

doi:10.37188/CJLCD.2025-0050

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基于图案化宾主液晶的光刻掩膜板制备

器件物理及器件制备 | 更新时间：2025-06-05

- 基于图案化宾主液晶的光刻掩膜板制备
- Fabrication of photomask based on patterned guest-host liquid crystal
- “微纳结构制造领域取得新突破，专家基于图案化取向宾主液晶设计掩模板，实现微米级结构精准制造，为低成本微结构加工提供新思路。”
- 液晶与显示 2025年40卷第6期页码：846-853
- 作者机构：
  
  1.华东理工大学物理学院，上海 200237
  2.华东理工大学材料科学与工程学院，上海 200237
- 作者简介：
  
  [ "王俊辉，男，硕士研究生，2022年于东华理工大学获得学士学位，主要从事宾主液晶器件与应用方面的研究。E-mail： 18296257390@163.com" ]
  [ "郑致刚，男，博士，教授，2009年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位，主要从事液晶态功能材料与微纳光学器件方面的研究。E-mail： zgzheng@ecust.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划(2022YFA1203700);国家自然科学基金(T2488302;62275081;62035008);上海市教委创新项目(2021-01-07-00-02-E00107);上海市教育发展基金会和上海市教委 “曙光计划”(21SG29);上海市启明星专项杨帆计划(24YF2709100);国家资助博士后研究人员计划B档(GZB20240218)
- DOI：10.37188/CJLCD.2025-0050
  中图分类号： O753⁺.2;O436
- CSTR：32172.14.CJLCD.2025-0050
- 收稿日期：2025-03-05，
  
  修回日期：2025-03-21，
  
  纸质出版日期：2025-06-05
- 稿件说明：
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王俊辉, 刘璇, 段霞, 等. 基于图案化宾主液晶的光刻掩膜板制备[J]. 液晶与显示, 2025,40(6):846-853.

WANG Junhui, LIU Xuan, DUAN Xia, et al. Fabrication of photomask based on patterned guest-host liquid crystal[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2025, 40(6): 846-853.
王俊辉, 刘璇, 段霞, 等. 基于图案化宾主液晶的光刻掩膜板制备[J]. 液晶与显示, 2025,40(6):846-853. DOI： 10.37188/CJLCD.2025-0050. CSTR： 32172.14.CJLCD.2025-0050.

WANG Junhui, LIU Xuan, DUAN Xia, et al. Fabrication of photomask based on patterned guest-host liquid crystal[J]. Chinese journal of liquid crystals and displays, 2025, 40(6): 846-853. DOI： 10.37188/CJLCD.2025-0050. CSTR： 32172.14.CJLCD.2025-0050.

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