Mikro- und Nanostrukturen spielen in vielen Bereichen eine wichtige Rolle, insbesondere in den Bereichen Optik, Sensorik und Displays. Obwohl es viele Technologien zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen gibt, bleibt die Frage, wie diese Strukturen auf einfache und kostengünstige Weise aufgebaut werden können, nach wie vor eine Herausforderung. Angesichts dieses Problems schlägt dieser Artikel ein Konzept vor, das auf einer berechneten Orientierungskontrolle von Flüssigkristallen basiert und erfolgreich die bedarfsabhängige Herstellung von Masken ermöglicht. Konkret ermöglicht die Kontrolle der Verteilung der Absorption von polarisiertem Licht mithilfe der Lichtausrichtungstechnik durch Flüssigkristalle, indem die Ausrichtung der Flüssigkristallmoleküle durch die optische Ausrichtungstechnik gesteuert wird, die räumliche Steuerung der Intensität des Eintrittslichtfeldes, wodurch eine gestückelte Maske entsteht. Diese wird in das System der direkten Laserbeschriftung eingeführt und erzeugt erfolgreich diverse geometrische Strukturen von Mikro- und Nanostrukturen auf der Oberfläche einer photosensiblen Emulsion. Die hergestellten Strukturen entsprechen vollständig der entworfenen Maske und zeigen die Fähigkeit zur Herstellung im Mikrometerbereich (charakteristische Größe 5 µm). Auf der Basis von aus Flüssigkristallen hergestellten Mikro- und Nanostrukturen können sie die Beugung bei kurzen Wellenlängen stabilisieren. Dieses Ergebnis zeigt weiterhin, dass die entworfene Flüssigkristallmaske die räumliche Verteilung des optischen Feldes genau steuern kann und eine präzise Kontrolle der Eingangslichtintensität ermöglicht. Diese Forschung bietet einen neuen Ansatz für die wirtschaftliche und praktische Bearbeitung von Mikrostrukturen und könnte die Entwicklung von schnellen Herstellungstechnologien für komplexe Mikro- und Nanostrukturen vorantreiben.
关键词
Flüssigkristalle; Maske; Lichtausrichtung; Mikro- und Nanostrukturen