Se propone un método de caracterización de la distribución del espesor de la membrana de orientación de poliimida (PI) en la zona periférica alrededor de la pantalla TFT-LCD basado en el análisis en profundidad mediante espectrometría de masas de iones secundarios con tiempo de vuelo (TOF-SIMS). Se utiliza un haz de iones clúster de argón (GCIB) para el sputtering en múltiples microzonas de la membrana de PI impresa por impresión por inyección de tinta. Se selecciona el tiempo de sputtering correspondiente al aumento al 50 % de la intensidad normalizada de la señal del ion característico del sustrato ITO InO₂ como el criterio para la penetración de la capa, midiendo la distribución del espesor de la membrana en 17 microzonas en el borde. Se midió de forma independiente la profundidad del pozo de sputtering y el espesor original de la membrana con un perfilómetro, verificando la confiabilidad de la tendencia de distribución del espesor revelada por el método a través del análisis estadístico de la correlación entre el tiempo de sputtering y el espesor. El método se aplicó a cuatro muestras de membranas de PI preparadas con diferentes procesos de precalentamiento. El método de análisis en profundidad TOF-SIMS mostró una alta coherencia en la tendencia de distribución espacial entre el tiempo de sputtering de la membrana y el espesor original medido con perfilómetro, con coeficientes de correlación de Spearman generales entre 0.571 y 0.963. Las muestras A y C, que se dejaron reposar 1 minuto antes del precalentamiento, mostraron valores máximos de tiempo de sputtering en la zona del borde de 378 y 487 s, mucho más altos que los tiempos promedio de las otras microzonas (aproximadamente 180 s); mientras que las muestras B y D, sin tiempo de reposo, presentaron un tiempo de sputtering bastante uniforme en toda la zona (aproximadamente 180 s). Este método proporciona una herramienta analítica efectiva para caracterizar la distribución del espesor de membranas en múltiples microzonas a gran escala, que puede apoyar la optimización del proceso de impresión por inyección de tinta de membranas orientadoras de PI y la mejora del proceso de fabricación de paneles de borde estrecho.

espectrometría de masas de iones secundarios con tiempo de vuelo;análisis en profundidad;poliimida;membrana orientadora de cristal líquido;caracterización del espesor de membrana;impresión por inyección de tinta