Preparación de redes de polarización líquida de gran diámetro mediante exposición por empalme por interferencia holográfica por pasos cercanos

WANG Chen ,  

FANG Qipeng ,  

JIANG Feiyu ,  

LIAO Chengkai ,  

SUN Xiuhui ,  

HU Chao ,  

YIN Shaoyun ,  

摘要

Las redes de polarización líquida de gran diámetro, debido a su alta eficiencia y ventaja de no tener inercia, tienen aplicaciones potenciales amplias en módulos de escaneo de dirección de haz. Limitados por el diámetro de los componentes ópticos de la ruta de exposición de interferencia holográfica polarizada, es difícil preparar redes de polarización líquida con un diámetro superior a 2 pulgadas (1 pulgada = 2,54 cm) mediante una sola exposición. Este artículo propone un método de exposición de empalme por interferencia holográfica por pasos cercanos, que logra un control preciso de la posición del área de exposición simple mediante una máscara colocada cerca del sustrato de exposición. Junto con una mesa de desplazamiento de alta precisión, se logró la exposición por empalme por pasos para redes de polarización líquida de gran diámetro. Las redes preparadas tienen un tamaño de hasta 150 mm, la brecha de empalme es de solo 26,4 μm, y la eficiencia de difracción alcanza el 96,86 %. Este trabajo proporciona una nueva idea para la alta eficiencia de desviación del haz de gran diámetro.

关键词

Red de polarización líquida; exposición por interferencia holográfica; orientación óptica; polímero líquido cristalino

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