La tecnología de visualización integrada mixta de óxido policristalino a baja temperatura (LTPO) es una nueva tecnología de visualización integrada que combina silicio policristalino a baja temperatura (LTPS) y semiconductores de óxido metálico (MOS), con el objetivo de ofrecer una solución de visualización de alto rendimiento y bajo consumo de energía. Durante el proceso de integración de LTPO, el hidrógeno puede difundirse desde la capa de silicio policristalino a baja temperatura a la capa de óxido metálico, lo que provoca la deriva del voltaje de umbral del dispositivo y un deterioro de la estabilidad, lo que afecta al rendimiento del producto de visualización. En este artículo se discuten en detalle las diferencias en la presencia de hidrógeno en los dispositivos LTPS y MOS y su impacto en los dispositivos MOS. Se resumen los métodos de bloqueo de hidrógeno para dispositivos MOS: utilizando diferentes capas intermedias, procesos de dopaje iónico. Además, el artículo recopila los métodos de bloqueo de hidrógeno para dispositivos LTPO, con el fin de mejorar la estabilidad y fiabilidad de los dispositivos LTPO. Finalmente, se analizan las perspectivas de aplicación de la tecnología LTPO mediante el bloqueo de hidrógeno en el campo de las visualizaciones de alto rendimiento.

LTPO;metal oxide;low temperature polysilicon;TFT;hydrogen diffusion