Preparación de máscaras fotolitográficas basadas en cristales líquidos bentostéricos con patrón

WANG Junhui ,  

LIU Xuan ,  

DUAN Xia ,  

LI Boyuan ,  

YUAN Conglong ,  

ZHENG Zhigang ,  

摘要

Las micro y nanoestructuras juegan un papel importante en numerosos campos, especialmente en óptica, sensores y pantallas. Aunque existen diversas tecnologías para fabricar estas micro y nanoestructuras, cómo construirlas de manera simple y económica sigue siendo un desafío. Para abordar este problema, este artículo propone un diseño basado en cristales líquidos bentostéricos con orientación patrón, logrando con éxito la preparación de máscaras bajo demanda. Específicamente, aprovechando la absorción anisotrópica de luz polarizada de los cristales líquidos bentostéricos, y controlando la distribución direccional de las moléculas de cristal líquido mediante tecnología de orientación óptica, se logra controlar espacialmente la intensidad del campo de luz incidente para formar máscaras con patrón. Al introducir este método en un sistema de escritura láser directa, se formaron micro y nanoestructuras de diversas formas geométricas en la superficie del fotoresistente. Las estructuras preparadas coinciden altamente con las máscaras diseñadas, mostrando capacidad de fabricación a escala micrométrica (tamaño de característica de 5 μm), y las rejillas líquidas basadas en estas micro y nanoestructuras pueden difractar de manera estable bajo condiciones de onda corta. Este resultado confirma que la máscara líquida desarrollada puede controlar con precisión la distribución del campo espacial de luz y controlar la intensidad de la luz incidente con precisión. Esta investigación ofrece una nueva idea para el procesamiento económico y práctico de microestructuras, y se espera que impulse el desarrollo de tecnologías de fabricación rápida a gran escala para estructuras micro y nano complejas.

关键词

cristales líquidos bentostéricos;máscara;orientación óptica;micro y nanoestructuras

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website