Emisión de luz polarizada lineal del Micro-LED rojo basado en AlGaInP con rejilla metálica sublongitud de onda integrada

WANG Yawei ,  

ZHENG Kaifeng ,  

LÜ Jinguang ,  

GUO Guangtong ,  

MA Siyao ,  

CHEN Yupeng ,  

ZHAO Baixuan ,  

ZHAO Yingze ,  

NIE Haitao ,  

QIN Yuxin ,  

LI Bin ,  

WANG Weibiao ,  

LIANG Jingqiu ,  

摘要

La tecnología de visualización Micro-LED se considera la tecnología de próxima generación más prometedora debido a su alta luminosidad, alta resolución y alto contraste. El desarrollo y aplicación de tecnologías como la pantalla 3D, la detección médica, el cifrado de información, la comunicación óptica visible, la retroiluminación eficiente de LCD, la microscopía polarizada y la detección han planteado nuevas demandas para Micro-LED en cuanto a la salida de luz polarizada con alta relación de extinción. Para lograr el diseño del dispositivo Micro-LED rojo con salida de luz polarizada lineal miniaturizada, este estudio integró una rejilla metálica sublongitud de onda en la superficie del Micro-LED rojo basado en AlGaInP, utilizando el método de diferencias finitas en el dominio del tiempo para realizar el análisis teórico y la optimización estructural de la rejilla metálica. Los resultados mostraron que, ajustando y optimizando los parámetros de la rejilla y el espesor de la capa dieléctrica, la relación de extinción del Micro-LED rojo con tamaño de chip de 50 μm alcanzó los 26 dB, logrando una salida de luz polarizada lineal con alta relación de extinción. El Micro-LED de polarización lineal basado en AlGaInP diseñado en este estudio tiene un buen potencial de aplicación en el campo de las pantallas Micro-LED 3D.

关键词

diodo emisor de luz;polarización;rejilla metálica;método de diferencias finitas en el dominio temporal

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