Influencia del material de fotoresina negra para TFT-LCD en la lectura de marcas durante el proceso de exposición

LI Ji ,  

ZHANG Xia ,  

LIAO Chang ,  

HSIEH Chung-ching ,  

YIN Yong-ming ,  

MENG Hong ,  

摘要

La pantalla de cristal líquido con transistor de película delgada (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD) reduce el costo del panel al reemplazar el proceso de matriz negra (Black Matrix, BM) con la tecnología de espaciador fotográfico negro (Black Photo Spacer, BPS), además de usar la tecnología BOA (BPS on Array) para mejorar la precisión de alineación desplazando el BPS al lado del sustrato del arreglo. El proceso original BM era el primero en la fabricación, mientras que el nuevo proceso BPS está ubicado en la última etapa del arreglo. La formación de BPS mediante exposición requiere un alineamiento preciso utilizando marcas metálicas (Metal Mark) del proceso frontal del arreglo. La baja transmitancia del BPS dificulta que las cámaras CCD capten las marcas metálicas para el alineamiento. Para abordar este desafío tecnológico, se analizó el principio de captura de marcas en el equipo de exposición y, ajustando la composición del pigmento, se obtuvieron materiales BPS con diferentes transmitancias. Se realizó la formación por exposición en materiales BPS con transmitancias variables para estudiar el requisito mínimo de transmitancia en el proceso de alineación y maximizar la opacidad. Los resultados experimentales mostraron que la longitud de onda de la fuente de luz del equipo de alineación de la máquina de exposición NSK se encuentra entre 780 y 1,000 nm en la región infrarroja; si la transmitancia del material BPS es inferior al 23%, el alineamiento falla. Mediante el uso de una composición de pigmentos orgánico-inorgánico en lugar de pigmentos orgánicos mixtos, se logra una transmitancia cercana al 90% en la banda infrarroja, cumpliendo con los requisitos de alineamiento. Tras el curado, se obtiene una densidad óptica de 1.2/μm, cumpliendo con las necesidades de opacidad del producto BPS. Los indicadores ópticos del panel BPS fabricado cumplen con las especificaciones del producto.

关键词

TFT-LCD;tecnología BPS;proceso de exposición;alineamiento de marcas;transmitancia

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website