Influencia de la capa de nitruro de silicio en el sesgo de color de la pantalla blanca en ángulo lateral y mejora del enrojecimiento

YE Cheng-zhi ,  

CAO Bin-bin ,  

LYU Yan-ming ,  

MA Li ,  

AN Hui ,  

PENG Jun-lin ,  

FENG Yao-yao ,  

YANG Zeng-qian ,  

LI Fang-fang ,  

LU Xiang-wan ,  

LI Heng-bin ,  

摘要

Se estudió el efecto de la capa de nitruro de silicio en el sustrato TFT sobre el sesgo de color en la pantalla blanca en ángulo lateral del producto final TFT-LCD, llenando la falta de investigaciones sobre las capas TFT y el sesgo de color en la pantalla blanca en ángulo lateral del TFT-LCD, proporcionando una referencia útil para mejorar defectos ópticos cromáticos similares. A través de numerosas pruebas experimentales y simulaciones, se exploró la influencia del grosor de la capa de óxido de silicio en el sesgo de color en la pantalla blanca en ángulo lateral. Los resultados muestran que la capa de nitruro de silicio es un factor clave que afecta la cantidad y dirección del sesgo de color, donde la capa aislante de puerta (GI) y la primera capa aislante de pasivación (PVX1) tienen un gran impacto, mientras que la segunda capa aislante de pasivación (PVX2) tiene un impacto menor. El grosor del nitruro de silicio está relacionado de forma no lineal con el grado de sesgo de color en la pantalla blanca en ángulo lateral. Por ejemplo, en un producto HADS, la capa de nitruro de silicio incluye la capa aislante de puerta (320 nm), la primera capa aislante de pasivación (100 nm) y la segunda capa aislante de pasivación (200 nm). Basado en los resultados de experimentos de un solo factor y simulaciones, considerando las características eléctricas y el impacto en la capacidad de producción, se adoptó PVX1 140 nm como condición de mejora, lo que es efectivo para mejorar el enrojecimiento en la pantalla blanca en ángulo lateral, es decir, no hay fenómeno de enrojecimiento en la observación macroscópica y los datos medidos cumplen con las especificaciones del producto.

关键词

pantalla de cristal líquido de transistor de película delgada; capa de nitruro de silicio; cromaticidad óptica; sesgo de color en ángulo lateral; pantalla completamente blanca

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