В последние годы, в связи с тенденцией уплотнения смартфонов и повышенными требованиями к надежности, наблюдается определенный рост доли появления радужных полос в области отверстий экранов OLED (органический светодиод). В данной статье проведен качественный и количественный анализ причин возникновения радужных полос в зоне отверстий экранов OLED, на основе чего создан относительно полный комплекс многомерных методов аналитического тестирования для взаимной проверки результатов. Дальнейшая оптимизация структуры состава пленок тонкой пленочной упаковки (Thin Film Encapsulation, TFE) позволяет максимально снизить риск появления темных пятен, связанных с радужными полосами в зоне отверстий после тестирования на надежность. С помощью отслаивания анализировались области и позиции появления радужных полос в зоне отверстий при условиях высокого температурно-влажностного воздействия; с использованием просвечивающего электронного микроскопа (TEM), масс-спектрометра вторичных ионов с временем пролета (TOF-SIMS) и рентгеновского фотоэлектронного спектроскопа (XPS) был проведен системный анализ причин возникновения этих явлений. Экспериментальные результаты показали, что SiON в слое CVD1 (химическое осаждение из паровой фазы 1) при высоких температуре и влажности постепенно преобразуется в слой SiO. Результаты TEM и TOF-SIMS показывают, что содержание азота в окисленном слое менее 2%; результаты XPS демонстрируют, что почти весь SiON на поверхности CVD1-2 преобразован в слой SiO. За счет повышения показателя преломления пленки SiON в CVD1-1 в TFE с 1.72 до 1.76 глубина окисления SiON снизилась на 70%. Разработанный метод анализа не только объясняет, что образование SiO при окислении пленочного слоя CVD в зоне отверстий является причиной появления радужных полос, но и предлагает влияние области радужных полос на надежность зоны отверстий OLED-панели. Данная стратегия предоставляет решение для использования OLED в будущем в сферах с более высокими требованиями к надежности, таких как автомобильная промышленность, IT (информационные технологии), рекламные щиты и др.

явление радужных полос;OLED-экран с отверстиями;тонкая пленочная упаковка;нитридокисель кремния;оксид кремния