В последние годы с развитием тенденции утоньшения мобильных телефонов и повышением требований к надежности, частота появления эффекта радужных полос в зонах отверстий OLED-экранов (органических светодиодных) заметно увеличилась. В данной статье качественно и количественно проанализированы причины появления эффекта радужных полос в зонах отверстий OLED-экрана, и на основе этого создан комплекс относительно полных многомерных аналитических методов тестирования с возможностью перекрестной проверки результатов. Дальнейшая оптимизация состава слоев пленочного инкапсуляционного покрытия (Thin Film Encapsulation, TFE) позволяет максимально снизить риск появления темных пятен, связанных с эффектом радужных полос в зонах отверстий после тестов на надежность. С помощью нарезки проанализированы области и места появления радужных полос в условиях высоких температуры и влажности; а с применением просвечивающего электронного микроскопа (Transmission Electron Microscope, TEM), масс-спектрометрии вторичных ионов с временем пролета (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, TOF-SIMS) и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) исследованы причины возникновения данного эффекта. Результаты экспериментов показали, что в CVD1 (химическое осаждение из газовой фазы 1) SiON под воздействием высокой температуры и влажности постепенно преобразуется в слой SiO. Результаты TEM и TOF-SIMS свидетельствуют, что содержание азота в окисленном слое менее 2%; результаты деконволюции XPS показывают, что поверхность CVD1-2 почти полностью преобразовалась в слой SiO. Повышение показателя преломления пленки SiON в CVD1-1 в TFE с 1.72 до 1.76 снизило глубину окисления данного слоя на 70%. Разработанный метод анализа не только объясняет, что образование SiO при окислении пленок CVD в зоне отверстий является причиной эффекта радужных полос, но и выявляет влияние данного эффекта на надежность зон отверстий OLED-панелей. Данная стратегия предоставляет решения для будущего применения OLED-дисплеев в автомобилестроении, информационных технологиях и рекламе с более высокими требованиями к надежности.

эффект радужных полос; OLED с вырезом; пленочное инкапсуляционное покрытие; нитридокислород кремния; диоксид кремния