Светодиоды с квантовыми точками (QLED) считаются перспективными устройствами следующего поколения для высокоразрешающих и энергоэффективных дисплеев благодаря высокой цветовой чистоте, высокой световой эффективности, хорошей стабильности, возможности растворной обработки, полной настройке цвета и хорошей совместимости с существующими технологиями. Реализация паттернизации квантовых точек является предпосылкой для их применения в дисплеях, что привело к появлению различных технологий литографии. В настоящее время технологии паттернизации QLED развиваются от традиционной литографии и струйной печати с сложными процессами и повреждением производительности к прямой литографии с высоким разрешением и без повреждений. В статье приведен обзор основных принципов технологии прямой литографии квантовых точек, с упором на механизмы сшивки трех типов фотоактивных групп (азидные, азобензольные, дисульфидные), их литографические характеристики и влияние на производительность QLED. Прогнозируются тенденции развития технологии прямой литографии квантовых точек и направление развития QLED-дисплеев, что имеет значительную справочную ценность для будущего развития технологии паттернизации QLED.

квантовые точки;прямая литография;паттернизация;QLED;литографические сшиватели