Для некоторых специфических дефектов точечного типа на TFT-подложках с частотой возникновения примерно 0,23%, которые невозможно исправить, предлагается метод покрытия светящихся пикселей с использованием ультрафиолетово отверждаемого черного遮光膜. Данный метод подходит для ремонта всех точечных дефектов, значительно повышая возможности ремонта темных точек на подложке. Сначала проведены серии экспериментов с включением подсветки, микроскопическим наблюдением и анализом с помощью фокусированного ионного луча, чтобы подтвердить возможность ремонта темных точек путем покрытия材料遮光膜; затем в сравнительных экспериментах были исследованы ключевые параметры управления для достижения затемнения —遮光率 и высота покрытия, а также изучено влияние трех факторов: интенсивность инфракрасного излучения, время воздействия инфракрасного излучения и давление выдавливания; наконец, введен метод анализа поверхности отклика для построения модели прогнозирования отклика, соответствующей遮光率 и высоте покрытия, которая была сверена с экспериментальными данными, выявлены оптимальные технологические параметры: интенсивность инфракрасного излучения 87,9%, время воздействия 2488 мс, давление выдавливания 0,0158 МПа. Согласно результатам экспериментов, проведены испытания массового производства, уровень успешного ремонта точечных дефектов на TFT-подложках с разными причинами достиг 98%.

TFT-подложка; ремонт темных точек; физическое遮光膜; инфракрасный нагрев; метод отклика поверхности