Технология смешанной интеграции поликристаллического оксида при низкой температуре (Low Temperature Polycrystalline Oxide, LTPO) — это новая интегрированная технология отображения, объединяющая низкотемпературный поликристаллический кремний (LTPS) и металлические оксидные полупроводники (MOS), направленная на достижение высокопроизводительных и низкоэнергетичных решений отображения. В процессе интеграции LTPO водород может диффундировать из слоя LTPS в слой металлического оксида, вызывая сдвиг порогового напряжения устройства и ухудшение стабильности, что влияет на производительность дисплейной продукции. В статье подробно рассмотрены различия в наличии водорода в устройствах LTPS и MOS, а также влияние водорода на устройства MOS; обобщены два метода защиты от водорода для устройств MOS: использование различных диэлектрических слоев и ионное допирование. Кроме того, приведены методы защиты от водорода для LTPO-устройств с целью повышения стабильности и надежности. В заключение представлен обзор более широкого применения технологии LTPO с использованием защиты от водорода в области высокопроизводительных дисплеев.

Низкотемпературный поликристаллический оксид;металлический оксид;низкотемпературный поликристаллический кремний;тонкоплёночный транзистор;диффузия водорода