Review of low-temperature polycrystalline silicon oxide display driving technology and hydrogen diffusion behavior
摘要
Технология интегрированного смешанного дисплея низкотемпературного поликристаллического оксида (LTPO) - это новая технология интегрированных дисплеев, объединяющая многокристаллический кремний низкой температуры (LTPS) и металлоксидные полупроводники (MOS), направленная на обеспечение высокопроизводительного и энергоэффективного решения дисплея. В процессе интеграции LTPO водород может распространяться из слоя низкотемпературного многокристаллического кремния на слой металлического оксида, вызывая дрейф порогового напряжения устройства и ухудшение стабильности, что влияет на производительность дисплея. В этой статье подробно обсуждается различие в присутствии водорода в устройствах LTPS и MOS и его влияние на устройства MOS. Обобщаются методы блокировки водорода в устройствах MOS: использование различных промежуточных слоев, процессы имплантации ионов. Кроме того, в статье систематизируются методы блокировки водорода для устройств LTPO с целью улучшения стабильности и надежности устройств LTPO. Наконец, делается прогноз применения технологии LTPO через блокировку водорода в области высокопроизводительных дисплеев.
关键词
LTPO;metal oxide;low temperature polysilicon;TFT;hydrogen diffusion