Жидкокристаллический дисплей с тонкопленочным транзистором (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD) снижает стоимость панели за счет замены процесса черной матрицы (Black Matrix, BM) на технологию черного фоторазделителя (Black Photo Spacer, BPS), при этом для улучшения точности совмещения используется технология BOA (BPS on Array), которая переносит BPS на сторону подложки массива. Изначально процесс BM был первым этапом изготовления, в то время как новый процесс BPS расположен на последнем этапе массива. Формирование BPS посредством экспонирования требует точной совмещения с металлическими метками (Metal Mark) переднего процесса массива. Низкая пропускная способность BPS затрудняет захват металлических меток камерой CCD для совмещения. Для решения этой технологической проблемы был проанализирован принцип захвата меток в экспонирующем оборудовании, путем регулировки состава пигментов материала получены BPS материалы с разной пропускной способностью. Проводилось исследование формирования экспонированием материалов с различной пропускной способностью, изучались минимальные требования к пропускной способности материала в процессе совмещения и максимально возможная степень затемнения. Результаты показали, что длина волны источника света совмещения на экспонирующей машине NSK находится в диапазоне 780~1000 нм в инфракрасной области, и при пропускной способности BPS ниже 23% совмещение невозможно. Использование органо-неорганической смешанной пигментной композиции вместо органической смешанной позволяет достичь пропускной способности около 90% в инфракрасном диапазоне, удовлетворяющей требованиям совмещения. При отверждении достигается оптическая плотность 1.2/μm, что соответствует требованиям затемнения продукции BPS. Изготовленная таким образом панель BPS соответствует оптическим характеристикам продукта.

TFT-LCD;технология BPS;процесс экспонирования;совмещение меток;пропускная способность