Изготовление жидкокристаллических оптических элементов на основе технологии проекционной сшивки SLM

YU Li-hong ,  

SHEN Dong ,  

ZHENG Zhi-gang ,  

摘要

Предложена технология пространственного ориентирования света на основе кремниевого ЖК-пространственного модулятора света (LCOS SLM, далее SLM). Сочетание SLM и двумерной подвижной платформы позволяет изготавливать жидкокристаллические оптические элементы с любой размерностью и геометрическим распределением фазы. На основе этой технологии методом непрерывного сканирующего экспонирования изготовлены различные ЖК-оптические элементы: одномерные поляризационные решетки, двумерные решетки, матрица микролинз и голограммы. Экспериментальные результаты показали, что с помощью данной технологии возможно изготовление оптических элементов с непрерывным распределением фазы и увеличение диаметра оптических элементов; дифракционная эффективность одномерной поляризационной решетки размером 25,4 мм×25,4 мм достигла 98,32%, при этом точность отклонения по каждому участку не превышала 1%; можно изготавливать двумерные периодические и другие сложные жидкокристаллические оптические элементы просто изменяя экспозиционный паттерн, загружаемый на SLM. Технология пространственного ориентирования света с проекционной сшивкой на основе SLM характеризуется высокой разрешающей способностью, высокой эффективностью, простотой процесса и возможностью изготовления оптических элементов любых размеров, что способствует дальнейшему развитию и практическому применению ЖК-оптических элементов.

关键词

жидкокристаллические оптические элементы;пространственный модулятор света;ориентирование света;геометрическая фаза;сшивка

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website