Изучено влияние слоя нитрида кремния на подложке TFT на сдвиг цвета белого экрана под углом у конечного продукта TFT-LCD, что восполнило пробел в исследованиях мембран TFT и сдвига цвета белого экрана под углом в TFT-LCD и предоставило полезную ссылку для улучшения подобных оптических цветовых дефектов. С помощью большого количества экспериментальных тестов и моделирования исследован закономерный эффект толщины слоя оксида кремния на сдвиг цвета белого экрана под углом. Результаты показывают, что слой нитрида кремния является ключевым фактором, влияющим на величину и направление сдвига цвета, при этом изоляционный слой затвора (GI) и первый пассивирующий изоляционный слой (PVX1) оказывают значительное влияние на сдвиг цвета, тогда как второй пассивирующий изоляционный слой (PVX2) оказывает меньшее влияние. Толщина нитрида кремния нелинейно связана со степенью цветового сдвига белого экрана под углом. На примере продукта HADS, слой нитрида кремния включает изоляционный слой затвора (320 нм), первый пассивирующий изоляционный слой (100 нм) и второй пассивирующий изоляционный слой (200 нм). На основе результатов однофакторных экспериментов и моделирования, с учетом электрических характеристик и влияния производительности, в качестве условия улучшения выбран PVX1 толщиной 140 нм, что эффективно улучшает покраснение белого экрана под углом, то есть макроскопическое наблюдение не показывает покраснения, а измеренные данные соответствуют требованиям продукта.

тонкопленочный транзисторный жидкокристаллический дисплей; слой нитрида кремния; оптическая цветность; цветовой сдвиг под углом просмотра; полностью белый экран