Propõe-se um método de caracterização da distribuição da espessura do filme de alinhamento de poliamida (PI) na área periférica de exibição do TFT-LCD, baseado na análise de profundidade por Espectrometria de Massas de Íons Secundários por Tempo de Voo (TOF-SIMS). Utilizou-se um feixe de íons cluster de argônio (GCIB) para sputtering em múltiplas microzonas do filme de PI impresso por jato de tinta. Selecionou-se o tempo de sputtering correspondente ao aumento para 50% da intensidade normalizada do sinal do íon característico do substrato ITO InO₂ como critério para penetração da camada, medindo a distribuição da espessura do filme em 17 microzonas na borda. A profundidade da cratera de sputtering e a espessura original do filme foram medidas independentemente com um perfilômetro, verificando a confiabilidade da tendência da distribuição da espessura revelada pelo método por meio de análise estatística da associação entre tempo de sputtering e espessura. O método foi aplicado a quatro amostras de filmes de PI preparadas com diferentes processos de pré-secagem. O método de análise de profundidade TOF-SIMS apresentou alta consistência na tendência de distribuição espacial entre o tempo de sputtering do filme e a espessura original medida pelo perfilômetro, com coeficientes de correlação de Spearman gerais entre 0,571 e 0,963. As amostras A e C, que ficaram descansando por 1 minuto antes da pré-secagem, apresentaram tempos máximos de sputtering na zona da borda de 378 e 487 s, muito superiores ao tempo médio das outras microzonas (aproximadamente 180 s); enquanto as amostras B e D, sem tempo de repouso, tiveram tempo de sputtering relativamente uniforme em toda a área (aproximadamente 180 s). Este método fornece uma ferramenta analítica eficaz para caracterizar a distribuição da espessura de filmes em múltiplas microzonas em grande escala, podendo apoiar a otimização do processo de impressão jato de tinta de filmes de alinhamento de PI e a melhoria do processo de fabricação de painéis com bordas estreitas.

Espectrometria de massas de íons secundários por tempo de voo;análise de profundidade;poliamida;filme de alinhamento de cristal líquido;caracterização de espessura de filme;impressão por jato de tinta