Preparação de grades polarizadoras líquidas de grande diâmetro por exposição de emenda holográfica interferométrica por etapa próxima

WANG Chen ,  

FANG Qipeng ,  

JIANG Feiyu ,  

LIAO Chengkai ,  

SUN Xiuhui ,  

HU Chao ,  

YIN Shaoyun ,  

摘要

Grades polarizadoras líquidas de grande diâmetro, devido à sua alta eficiência e vantagem de ausência de inércia, possuem amplas aplicações potenciais em módulos de varredura de direção de feixe. Limitados pelo diâmetro dos componentes óticos do caminho de exposição de interferência holográfica polarizada, é difícil preparar grades polarizadoras líquidas com diâmetro superior a 2 polegadas (1 polegada = 2,54 cm) em uma única exposição. Este artigo propõe um método de exposição de emenda holográfica interferométrica por etapa próxima, que realiza o controle preciso da posição da área de exposição única através de uma máscara colocada próxima ao substrato de exposição. Em conjunto com um estágio de deslocamento de alta precisão, foi realizada a exposição de emenda por etapas de grades polarizadoras líquidas de grande diâmetro. A dimensão da grade preparada atingiu 150 mm, a brecha da emenda foi de apenas 26,4 μm, e a eficiência de difração alcançou 96,86%. Este artigo oferece uma nova ideia para a deflexão eficiente de feixes de grande diâmetro.

关键词

Grade polarizadora líquida; exposição por interferência holográfica; orientação óptica; polímero líquido cristalino

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