Preparação de máscara fotolitográfica baseada em cristais líquidos bentostéricos padronizados

WANG Junhui ,  

LIU Xuan ,  

DUAN Xia ,  

LI Boyuan ,  

YUAN Conglong ,  

ZHENG Zhigang ,  

摘要

As micro e nanoestruturas desempenham um papel importante em muitos campos, especialmente em óptica, sensores e displays. Embora existam várias tecnologias para a fabricação dessas micro e nanoestruturas, construir essas estruturas de forma simples e de baixo custo ainda é um desafio. Para resolver essa questão, este artigo propõe uma solução baseada no design de cristais líquidos bentostéricos padronizados, que conseguiu realizar com sucesso a preparação de máscaras sob demanda. Especificamente, aproveitando a absorção anisotrópica de luz polarizada pelos cristais líquidos bentostéricos, e controlando a distribuição dos vetores de orientação das moléculas dos cristais líquidos por meio da tecnologia de orientação óptica, é possível controlar espacialmente a intensidade do campo de luz incidente, formando máscaras padronizadas. Ao introduzi-las em um sistema de escrita direta a laser, conseguiram-se micro e nanoestruturas geométricas diversas na superfície do fotopolímero. As estruturas preparadas estão altamente alinhadas com as máscaras projetadas, demonstrando capacidade de fabricação em escala micrométrica (tamanho da característica de 5 μm), e as grades líquidas baseadas em micro e nanoestruturas são capazes de difratar estável sob condições de ondas curtas. Esse resultado comprova ainda mais que as máscaras líquidas desenvolvidas podem controlar com precisão a distribuição espacial do campo de luz e permitir controle preciso da intensidade da luz incidente. Este estudo oferece uma nova abordagem para o processamento econômico e prático de microestruturas, podendo promover o desenvolvimento de tecnologias de fabricação rápida em larga escala para estruturas micro e nano complexas.

关键词

cristais líquidos bentostéricos;máscara;orientação óptica;micro e nanoestruturas

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