Caracterização microscópica tridimensional de filmes poliméricos

HE Bing-en ,  

SHAO Sheng-pei ,  

LIANG Xiao ,  

CHENG Jia-dong ,  

YIN Pan-chao ,  

MAO Yan ,  

WU Ming-xing ,  

GONG Xiang-jun ,  

ZHANG Guang-zhao ,  

摘要

Filmes poliméricos geralmente possuem estruturas em microescala, como cristalização e separação de fases, e durante o processo de fabricação e processamento, defeitos na superfície, bolhas e outras estruturas heterogêneas também se formam, o que afeta gravemente seu desempenho. No entanto, atualmente não há um bom método para caracterizar essas estruturas. Este artigo investiga a aplicação da Microscopia Holográfica Digital (Digital Holographic Microscopy, DHM), uma técnica óptica tridimensional in situ, não destrutiva e de alta precisão, na caracterização da superfície, estruturas internas e defeitos de filmes poliméricos. Utilizando um DHM construído internamente e um algoritmo de posicionamento tridimensional contínuo, foram caracterizadas a distribuição de nanopartículas de poliestireno de 100 nm em uma camada líquida fina, a morfologia da superfície após o revestimento de poliuretano sobre o wafer, o processo de separação de fases entre o filme de polimetacrilato de metila e a água, a cristalização das bordas durante a secagem do filme de polietilenoglicol, e as microbolhas nanométricas dentro do filme de álcool polivinílico, comprovando que o DHM possui resolução de imagem muito alta e pode realizar simultaneamente o monitoramento in situ tridimensional de alta precisão de defeitos e estruturas na superfície e interior dos filmes poliméricos, com vantagens únicas e perspectivas aplicativas.

关键词

filmes poliméricos; holografia digital; imageamento 3D

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