摘要
대구경 액정 편광 격자는 높은 효율과 무관성의 장점으로 인해 광선 방향 스캐닝 모듈에서 널리 잠재적으로 응용되고 있다. 편광 홀로그래픽 간섭 노출 광 경로 부품의 구경 제한으로 인해 단일 노출로 2인치(1인치=2.54cm) 이상의 구경을 가진 액정 편광 격자를 제작하기 어렵다. 본 논문에서는 노출 기판에 근접하게 배치된 마스크판을 통해 단일 노출 영역 위치를 정밀 제어하는 근접식 스텝 홀로그래픽 간섭 접합 노출 방법을 제안한다. 고정밀 이동대를 활용하여 대구경 액정 편광 격자의 단계적 접합 노출을 실현하였다. 본 논문에서 제작한 격자의 면적은 150mm에 달하며, 접합 간극은 26.4μm에 불과하고 회절 효율은 96.86%에 도달하였다. 본 논문은 대구경 광선의 고효율 편향을 위한 새로운 아이디어를 제공한다.
关键词
액정 편광 격자; 홀로그래픽 간섭 노출; 광 배향; 액정 고분자
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