摘要
저온 다결정 산화물(Low Temperature Polycrystalline Oxide, LTPO) 반도체 하이브리드 집적 디스플레이 기술은 저온 다결정 실리콘(LTPS)과 금속 산화물 반도체(MOS)를 통합한 새로운 집적 디스플레이 기술로, 고성능 및 저전력 디스플레이 솔루션 구현을 목적으로 한다. LTPO 집적 공정에서 수소가 저온 다결정 실리콘층에서 금속 산화물층으로 확산될 수 있으며, 이로 인해 소자의 임계 전압 이동 및 안정성 저하가 발생하여 디스플레이 제품의 성능에 영향을 미친다. 본 논문은 LTPS 및 MOS 소자 내 수소 존재 차이와 수소가 MOS 소자에 미치는 영향을 상세히 논의하였으며, MOS 소자의 두 가지 수소 차단 방법: 서로 다른 유전체 층 사용 및 이온 도핑 공정을 정리하였다. 또한, LTPO 소자의 수소 차단 방법을 정리하여 LTPO 소자의 안정성과 신뢰성을 향상시키는 방안을 제시하였다. 마지막으로, 수소 차단을 통한 LTPO 기술의 고성능 디스플레이 분야에서의 보다 광범위한 적용 전망을 제시하였다.
关键词
저온 다결정 산화물;금속 산화물;저온 다결정 실리콘;박막 트랜지스터;수소 확산
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