아파장 금속 격자가 통합된 AlGaInP 기반 적색 Micro-LED 선형 편광 광 방출

WANG Yawei ,  

ZHENG Kaifeng ,  

LÜ Jinguang ,  

GUO Guangtong ,  

MA Siyao ,  

CHEN Yupeng ,  

ZHAO Baixuan ,  

ZHAO Yingze ,  

NIE Haitao ,  

QIN Yuxin ,  

LI Bin ,  

WANG Weibiao ,  

LIANG Jingqiu ,  

摘要

Micro-LED 디스플레이 기술은 높은 밝기, 높은 해상도 및 높은 명암비 등의 장점으로 차세대 가장 유망한 디스플레이 기술로 간주되고 있다. 3D 디스플레이, 의료 검사, 정보 암호화, 가시광 통신, 고효율 액정 백라이트 디스플레이, 편광 현미경 및 센서 등의 기술 발전과 응용은 Micro-LED에 고소광비 편광광 출력에 대한 새로운 요구를 제기하였다. 소형화된 선형 편광광 출력을 실현하기 위해 본 연구는 AlGaInP 기반 적색 Micro-LED 표면에 아파장 금속 격자를 집적하였으며, 시간 영역 유한 차분법을 이용하여 금속 격자의 이론적 분석 및 구조 최적화 연구를 수행하였다. 결과는 격자 파라미터와 유전체층 두께를 조정 및 최적화함으로써 칩 크기가 50 μm인 적색 Micro-LED의 소광비가 26 dB에 도달하여 고소광비 선형 편광광 출력을 실현하였음을 보여준다. 본 연구에서 설계한 AlGaInP 기반 선형 편광 Micro-LED는 3D Micro-LED 디스플레이 분야에서 우수한 응용 잠재력을 가진다.

关键词

발광 다이오드;편광;금속 격자;시간 영역 유한 차분법

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