노광 공정이 청색상 액정 패턴 선명도에 미치는 영향

DU Yike ,  

XU Xuejing ,  

GAO Han ,  

ZHU Jiliang ,  

ZHOU Xuan ,  

摘要

패턴화된 청색상 액정 박막(Blue Phase Liquid Crystal Film, BPLCF)의 가장자리 해상도를 향상시키고 패턴을 더 선명하게 하며 제조 공정의 난이도를 줄이기 위해, 본 논문은 티올-아크릴레이트 마이클 첨가 반응을 기반으로 상온에서 단계별 마스크 노광 방식을 이용하여 패턴화된 BPLCF를 설계 및 제작하였다. 먼저, BPLCF의 광학적 특성이 마이클 첨가 반응 과정에 따라 어떻게 변화하는지 관찰하고, 스펙트럼의 반치폭과 반사 강도를 결합하여 BP I 구조상의 최적 반응 시간을 결정하였다. 다음으로, 선택한 반응 시간을 기준으로 동일한 자외선 노광 시간 하에서 다양한 노광 강도가 BPLCF의 광학 성능과 패턴 해상도에 미치는 영향을 연구하여 선명한 패턴과 높은 가장자리 해상도를 갖는 최적의 자외선 노광 강도를 얻었다. 마지막으로, 실험을 통해 얻은 반응 시간과 자외선 노광 강도를 기준으로 고해상도의 난과 매화 패턴이 있는 BPLCF를 제작하였다. 실험 결과, 33 ℃에서 마이클 첨가 반응 시간이 60분이고 자외선 노광 강도가 30 mW/cm2, 노광 시간이 15초일 때 BP I 구조가 잘 유지되며 BPLCF 패턴이 선명하고 가장자리에 그림자가 없으며, 해당 중심 파장과 반치폭은 각각 528 nm와 53 nm이며 이때 해상도는 38 μm에 달한다. 본 연구는 고해상도 청색상 액정 패턴 제작 및 정보 위변조 방지와 디스플레이 분야 응용에 중요한 의미가 있다.

关键词

청색상 액정;패턴화;마이클 첨가 반응;고해상도;자외선 노광 강도

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