가변 전단 간섭 노광 방법 기반 대구경 액정 편광 격자 제작

SHEN Hao ,  

DUAN Jiazhu ,  

CHEN Yibo ,  

QIAO Ran ,  

LI Dapeng ,  

ZENG Jiancheng ,  

SHEN Zhixue ,  

ZHAO Xiangjie ,  

ZHANG Dayong ,  

摘要

전통적인 편광 홀로그래픽 간섭법이 너무 긴 광로로 인해 대구경 장주기 액정 편광 격자를 제작하는 데 제한되는 문제를 해결하기 위해, 액정 편광 격자 템플릿 기반의 가변 전단 간섭 노광 방법이 제안되었으며, 템플릿 방위각과 광축 축방향 위치에 따른 편광 격자 제작 주기의 변화를 이론적으로 분석하였다. 소구경 효율 높은 액정 편광 격자를 템플릿으로 사용하여 가변 전단 간섭 노광 광로를 구축하였고, 이를 바탕으로 수십 미크론 주기의 200mm 구경 액정 편광 격자를 제작하였으며, 평균 회절 효율은 99% 이상, 평균 주기는 약 59.86μm, 주기 분포 불균일도는 약 0.07%에 달한다. 실험 결과 가변 전단 간섭 노광 방법은 대구경 장주기 편광 격자 제작이 가능하며, 주기와 효율 분포가 균일하고, 주기 조절이 용이하며, 구조가 컴팩트하고 진동 간섭에 강한 장점을 가진다.

关键词

액정 편광 격자; 장주기; 가변 전단 간섭 노광; 대구경

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