마이크로 LED 소자: 극성 c면에서 비극성 또는 반극성으로의 발전 동향

WANG Qi ,  

YANG Bo-bo ,  

LI Wei-chen ,  

ZOU Jun ,  

YANG Xue-zhou ,  

XU Hua ,  

QIAN Qi ,  

CHEN Jun-feng ,  

LI Yang ,  

摘要

질화 갈륨은 1세대 실리콘 및 2세대 갈륨 아세나이드에 비해 성능이 크게 향상된 3세대 조명 소자 재료로, 질화 갈륨 기반 마이크로 LED 소자에 대한 관심이 점점 증가하고 있습니다. 그러나 전통적인 c면에서 성장한 LED는 고유의 몇 가지 결함으로 인해 실제 적용에서 발광 효율이 낮은 경우가 많으며, 양자제한 스타크 효과, 그린 갭, 전하 운반체 전달 등의 문제가 존재합니다. 비극성 또는 반극성 LED는 극성 전기장이 없으며, 높은 내부 양자 효율과 전자와 정공의 재결합 확률이 높다는 장점이 있어 비극성 및 반극성 마이크로 LED 소자 연구와 응용에 큰 관심을 불러일으켰습니다. 본 논문은 비극성 및 반극성 마이크로 LED 소자 연구 현황을 종합적으로 검토합니다. 먼저 양자 제한 스타크 효과, 그린 갭, 전하 운반체 전달, 효율 저하의 4가지 측면에서 비극성 및 반극성 질화 갈륨 계열 재료의 장점을 소개합니다. 이어 결함 이형 결함, 광 추출 효율 증대 및 다양한 전류 밀도에서 전색 디스플레이 구현 등 문제를 해결하기 위해 칩 성형, 패턴 에칭, 배열의 3가지 기술을 소개합니다. 마지막으로 차세대 디스플레이의 주도자로서 마이크로 LED의 전망을 제시합니다. 본 연구가 마이크로 LED의 향후 연구에 도움이 되길 바랍니다.

关键词

질화 갈륨;Micro-LED;비극성;반극성

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