摘要
본 논문에서는 해상도 1920×1080의 질화갈륨 기반 Micro-LED 칩을 설계하고 제작하였다. 단일 ICP(유도 결합 플라즈마) 에칭 방법을 사용하여 전류 확장층의 패터닝 및 테이블 에칭을 완성하여 전류 확장층과 테이블의 자체 정렬을 구현하였다. 또한 제작 과정에서 HMDS(헥사메틸디실록산)를 사용하여 포토레지스트의 접착력을 향상시켜 소형 테이블 에칭의 일관성과 완전성을 근본적으로 높였다. 아울러 N형 전극을 높여 기존 플립 칩에서 P형 전극과 N형 전극의 높이 차 문제를 해결하여 디스플레이 칩과 드라이버 칩의 본딩에 유리하게 하였다. 해당 칩의 크기는 17.78 mm(0.7 인치), 발광 유닛 크기는 6 μm, 픽셀 주기는 8 μm이며, 픽셀 밀도는 3129 PPI에 달한다. I-V 테스트 데이터는 제조된 Micro-LED의 작동 전압이 단지 3.5 V임을 보여준다.
关键词
Micro-LED;고해상도;플립 칩;에칭
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