실리콘 기반 액정 공간 광 변조기(LCOS SLM, 이하 SLM)를 기반으로 한 투영 연결식 광 정렬 기술이 제안되었다. SLM과 2차원 이동 플랫폼의 결합을 통해 임의 크기, 임의 기하 위상 패턴 분포를 가진 액정 광학 소자의 제작이 가능하다. 이 기술을 기반으로 연속 스캔 노출 방식을 통해 다양한 액정 광학 소자가 제작되었다: 1차원 편광 격자, 2차원 격자, 마이크로 렌즈 배열 및 홀로그램. 실험 결과에 따르면, 이 기술을 통해 연속 위상 분포 광학 소자의 제작 및 광학 소자의 구경 확장이 가능하며; 25.4 mm×25.4 mm 크기의 1차원 편광 격자의 회절 효율은 98.32%에 달했으며, 각 영역 오차는 1%를 넘지 않았다; SLM에 로드된 노출 패턴만 변경하여 2차원 주기적 또는 기타 복잡한 패턴의 액정 광학 소자를 제작할 수 있다. SLM 기반 투영 연결식 광 정렬 기술은 고해상도, 고효율, 간단한 공정, 임의 크기 광학 소자 제작 가능 등의 특징을 가지며, 액정 광학 소자의 발전과 실제 응용을 더욱 촉진할 수 있다.

액정 광학 소자;공간 광 변조기;광 정렬;기하 위상;연결