TFT 기판 내 질화 규소 박막이 TFT-LCD 최종 제품 측면 시야각 백색 화면 색 편차에 미치는 영향을 연구하여 TFT 박막과 TFT-LCD 측면 시야각 백색 화면 색 편차 연구의 부족을 보완하였으며, 유사한 광학 색도 불량 개선에 유익한 참고 자료를 제공하였다. 다수의 실험 테스트와 시뮬레이션을 통해 산화 규소 막 두께가 측면 시야각 백색 화면 색 편차에 미치는 영향을 탐구하였다. 결과는 질화 규소 막이 색 편차 양과 방향에 영향을 미치는 주요 요소이며, 게이트 절연층(GI)과 첫 번째 패시베이션 절연층(PVX1)이 색 편차에 큰 영향을 주는 반면, 두 번째 패시베이션 절연층(PVX2)은 색 편차에 적은 영향을 준다는 것을 보여준다. 질화 규소 두께는 백색 화면 측면 시야각 색 편차 정도와 비선형 상관관계를 가진다. 특정 HADS 제품을 예로 들어, 질화 규소 막은 게이트 절연층(320 nm), 첫 번째 패시베이션 절연층(100 nm), 두 번째 패시베이션 절연층(200 nm)을 포함한다. 단일 인자 실험 결과와 시뮬레이션 결과를 기반으로 전기적 특성과 생산성 영향을 종합 고려하여 PVX1 140 nm를 개선 조건으로 채택하였으며, 측면 시야각 백색 화면의 발적 개선에 효과적이어서 거시 관찰 시 발적 현상이 없고 측정 데이터가 제품 사양을 충족한다.

박막 트랜지스터 액정 표시기; 질화 규소 막; 광학 색도; 측면 시야각 색 편차; 전체 백색 화면