亜波長金属グレーティングを集積したAlGaInP系赤色Micro-LED線偏光光放射

WANG Yawei ,  

ZHENG Kaifeng ,  

LÜ Jinguang ,  

GUO Guangtong ,  

MA Siyao ,  

CHEN Yupeng ,  

ZHAO Baixuan ,  

ZHAO Yingze ,  

NIE Haitao ,  

QIN Yuxin ,  

LI Bin ,  

WANG Weibiao ,  

LIANG Jingqiu ,  

摘要

Micro-LED表示技術は、高輝度、高解像度、高コントラストなどの利点から、次世代の最も有望な表示技術と考えられている。3D表示、医療検査、情報暗号化、可視光通信、高効率液晶バックライト表示、偏光顕微鏡、およびセンサーなどの技術の発展と応用により、Micro-LEDには高消光比の偏光光出力という新たな要件が生じている。微小な線偏光出力の赤色Micro-LEDデバイス設計を実現するために、本研究ではAlGaInP系赤色Micro-LEDの表面に亜波長金属グレーティングを集積し、時域有限差分法を用いて金属グレーティングの理論解析および構造最適化を行った。結果は、グレーティングパラメータと誘電体層の厚さを調整・最適化することで、チップサイズ50 μmの赤色Micro-LEDの消光比が26 dBに達し、高消光比の線偏光光出力を実現したことを示した。本研究で設計したAlGaInP系線偏光Micro-LEDは、3D Micro-LED表示分野で良好な応用可能性を有している。

关键词

発光ダイオード;偏光;金属グレーティング;時域有限差分法

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