窒化ガリウムは、第一世代のシリコンおよび第二世代のガリウム砒素に比べて性能が大幅に向上した第三世代の照明デバイス材料として、窒化ガリウムを基盤としたMicro-LEDデバイスにも注目が集まっています。しかし、伝統的なc面で成長したLEDは、その固有のいくつかの欠陥により、実際の応用で発光効率が低いことが多く、量子制限スターク効果やグリーンギャップ、キャリア輸送といった問題があります。非極性または半極性のLEDは、分極電場がなく、内部量子効率が高く、電子と正孔の再結合確率が大きいという利点があり、非極性および半極性のMicro-LEDデバイスの研究と応用に大きな関心が寄せられています。本稿では、非極性および半極性Micro-LEDデバイスの研究現状を概説します。まず、量子制限スターク効果、グリーンギャップ、キャリア輸送、効率低下の4つの側面から、非極性および半極性窒化ガリウム系材料の利点を紹介します。次に、欠陥転位、光抽出効率の向上、および異なる電流密度でのフルカラー表示の実現に関する課題に対して、チップ形成、パターンエッチング、アレイという3つの技術を紹介し、最後に次世代ディスプレイのリーダーとしてのMicro-LEDの展望を述べます。Micro-LEDの今後の研究に役立つことを期待します。

窒化ガリウム;Micro-LED;非極性;半極性