高解像度アクティブ駆動型窒化ガリウム系Micro-LEDチップの製作

HUANG Ming-shui ,  

NIE Jun-yang ,  

LIU Ming-yang ,  

LI Yang ,  

PAN Kui ,  

DENG Li-ying ,  

YANG Tian-xi ,  

HUANG Zhong-hang ,  

SUN Jie ,  

YAN Qun ,  

GUO Tai-liang ,  

摘要

本論文では、解像度1920×1080の窒化ガリウム系Micro-LEDチップを設計・製造した。単一ICP（誘導結合プラズマ）エッチング法を用いて電流拡張層のパターニングとテーブルエッチングを行い、電流拡張層とテーブルの自己整合を実現した。また、製造過程でHMDS（ヘキサメチルジシロキサン）を使用してフォトレジストの接着力を向上させ、小型テーブルエッチングの一貫性と完全性を根本的に高めた。さらに、N型電極を嵩上げすることで、従来のフリップチップにおけるP型電極とN型電極の高さ不均一問題を解決し、表示チップと駆動チップの接合に有利となった。本チップのサイズは17.78 mm（0.7インチ）、発光ユニットのサイズは6μm、ピクセル周期は8μm、ピクセル密度は3129 PPIに達する。I-Vテストデータは、製造したMicro-LEDの動作電圧がわずか3.5 Vであることを示している。

关键词

Micro-LED;高解像度;フリップチップ;エッチング

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