SLM投影スティッチ技術に基づく液晶光学素子の製作

YU Li-hong ,  

SHEN Dong ,  

ZHENG Zhi-gang ,  

摘要

シリコンベースの液晶空間光変調器(LCOS SLM、以下SLM)を基盤とした投影スティッチ光配向技術を提案した。SLMと2次元移動プラットフォームを組み合わせることで、任意のサイズ、任意の幾何位相パターン分布を持つ液晶光学素子の製作が可能となる。この技術を基に、連続走査露光法により、1次元偏光格子、2次元格子、マイクロレンズアレイ、ホログラムなど様々な液晶光学素子を製作した。実験結果から、この技術により連続位相分布の光学素子の製作および光学素子の口径拡大が可能であることが示された。25.4 mm×25.4 mmの1次元偏光格子の回折効率は98.32%に達し、各領域の誤差は1%以内であった。SLMに読み込ませる露光パターンを変更するだけで、2次元周期性やその他複雑なパターンの液晶光学素子の製作が可能である。SLMベースの投影スティッチ光配向技術は、高解像度、高効率、簡単なプロセス、任意のサイズ光学素子製作が可能などの特長を有し、液晶光学素子の発展と実用化をさらに促進できる。

关键词

液晶光学素子;空間光変調器;光配向;幾何位相;スティッチ

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website