TFT基板中の窒化ケイ素膜層がTFT-LCD最終製品の側面視角の白画面色ズレに与える影響を研究し、TFT膜層とTFT-LCDの側面視角白画面色ズレに関する研究の不足を補い、類似の光学的色度不良改善に有益な参考資料を提供した。多数の実験テストおよびシミュレーションを通じて、酸化ケイ素膜層の厚さが側面視角白画面色ズレに与える影響規則を探った。結果、窒化ケイ素膜層は色ズレの量および方向に影響を与える重要な因子であり、ゲート絶縁層（GI）および第一パッシベーション絶縁層（PVX1）が色ズレに大きな影響を与える一方で、第二パッシベーション絶縁層（PVX2）は色ズレへの影響が小さく、窒化ケイ素の厚さは白画面側面視角の色ズレ程度と非線形の相関関係にある。あるHADS製品を例にとると、窒化ケイ素膜層はゲート絶縁層（320 nm）、第一パッシベーション絶縁層（100 nm）、第二パッシベーション絶縁層（200 nm）を含む。単因子実験結果とシミュレーション結果に基づき、電気的特性と生産能力の影響を総合的に考慮して、PVX1 140 nmを改善条件として採用し、側面視角白画面の発赤改善に有効であり、マクロ観察で発赤現象がなく、実測データはすべて製品仕様を満たしている。

薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ;窒化ケイ素膜層;光学色度;側面視角色ズレ;全白画面