Éléments optiques plans à phase géométrique des cristaux liquides basés sur l'orientation par gravure laser polarisée directe

ZHANG Chenying ,  

YANG Zhe ,  

ZHU Qingqi ,  

LIU Liang ,  

LI Sensen ,  

CHEN Lujian ,  

摘要

Basé sur le principe de la phase géométrique des cristaux liquides, il est possible de concevoir et de fabriquer divers éléments optiques plans achromatiques, tels que les plaques q, les réseaux de polarisation, etc., tandis que l'orientation précise des cristaux liquides constitue la base clé pour réaliser les fonctions de ces éléments optiques. Bien que la technologie d'exposition par dispositif à micro-miroirs numériques (DMD) soit largement utilisée dans le processus d'orientation lumineuse des éléments de phase géométrique des cristaux liquides, sa résolution spatiale est limitée par la taille des unités de mirroir et le grossissement de l'objectif de projection. Pour surmonter cette limitation, cet article propose un système de gravure laser polarisée directe (PLDW) combinant un galvanomètre de balayage et une plateforme de déplacement. Ce système atteint une haute résolution dimensionnelle de 3,4 μm et montre une bonne efficacité d'orientation lumineuse. Grâce à ce système, cet article a réussi à fabriquer des réseaux Pancharatnam-Berry (PB), des lentilles et des réseaux de microlentilles. Les résultats expérimentaux montrent que la période des réseaux PB fabriqués est seulement de 27 μm, avec une efficacité relative de diffraction dépassant 85 % sous lumière polarisée circulaire ; les lentilles PB fabriquées ont de bonnes performances focales et leur structure en réseau permet un imagerie matricielle du motif du masque avec un facteur d'agrandissement de 1∶10. La technologie PLDW proposée offre une nouvelle méthode précise et peu coûteuse pour l'orientation optique des éléments optiques plans à phase géométrique des cristaux liquides.

关键词

gravure laser directe; orientation lumineuse; phase géométrique; éléments optiques aux cristaux liquides

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