Cet article traite du problème de décoloration des films polarisants dans les diodes électroluminescentes organiques flexibles en environnement humide et chaud. Les facteurs clés influençant le processus de dépôt des films de nitrure de silicium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) ont été étudiés. Grâce à une conception d'expériences factorielle complète, les mécanismes d'influence de la puissance radiofréquence et de l'espacement des électrodes sur les performances du film et le comportement de décoloration du film polarisant ont été analysés systématiquement. Les résultats indiquent que la puissance radiofréquence (P=0.006) et l'espacement des électrodes (P=0.023) sont des facteurs significatifs affectant la décoloration du film polarisant, avec une corrélation négative entre le degré de décoloration et la puissance radiofréquence, et une corrélation positive avec l'espacement des électrodes. Le modèle linéaire établi explique 89,88 % de la variance. Il n'existe pas de relation statistiquement significative entre la contrainte du film et la décoloration du film polarisant (P=0.169), ce qui indique que les deux sont des variables de réponse parallèles des paramètres du procédé. La teneur en hydrogène lié des liaisons azote-hydrogène et silicium-hydrogène dans le film de nitrure de silicium est fortement corrélée positivement avec la décoloration du film polarisant (P=0.007, R²=79.1%). La tension crête-à-crête, indicateur clé de la capacité de dissociation du plasma, est significativement corrélée négativement avec la teneur en hydrogène lié (P=0.015). L'augmentation de la puissance radiofréquence et la réduction de l'espacement des électrodes améliorent significativement la tension crête-à-crête, réduisant ainsi efficacement la teneur en hydrogène lié dans le film de nitrure de silicium, favorisant la formation d'une structure de film plus dense et stable, ce qui réduit la libération d'ammoniac due à la dégradation oxydative du film en environnement humide et chaud. Cela diminue la réaction ultérieure avec les ions iodure dans le film polarisant, aboutissant finalement à l'inhibition de la décoloration du film polarisant et à une amélioration significative de la fiabilité des diodes électroluminescentes organiques flexibles en milieu humide et chaud.

décoloration des films polarisants; dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma; nitrure de silicium; puissance radiofréquence; espacement des électrodes; teneur en hydrogène lié; tension crête-à-crête