Préparation de réseaux de polarisation liquide grand diamètre par exposition assemblée par interférométrie holographique en pas rapproché

WANG Chen ,  

FANG Qipeng ,  

JIANG Feiyu ,  

LIAO Chengkai ,  

SUN Xiuhui ,  

HU Chao ,  

YIN Shaoyun ,  

摘要

Les réseaux de polarisation liquide à grand diamètre, grâce à leur haute efficacité et leur absence d'inertie, ont de vastes applications potentielles dans les modules de balayage de direction de faisceau. Limités par le diamètre des éléments optiques du chemin d'exposition d'interférence holographique polarisée, il est difficile de fabriquer un réseau de polarisation liquide d'un diamètre supérieur à 2 pouces (1 pouce = 2,54 cm) en une seule exposition. Cet article propose une méthode d'exposition par assemblage par interférométrie holographique en pas rapproché, permettant un contrôle précis de la position de la zone d'exposition unique grâce à un masque placé à proximité du substrat d'exposition. En association avec une plateforme de déplacement haute précision, un assemblage d'exposition par pas a été réalisé pour des réseaux de polarisation liquide grand diamètre. La taille du réseau préparé atteint 150 mm, l'écart de jointure n'est que de 26,4 μm, et l'efficacité de diffraction atteint 96,86 %. Cet article apporte une nouvelle approche pour la déviation efficace des faisceaux de grand diamètre.

关键词

Réseau de polarisation liquide; exposition par interférence holographique; orientation optique; polymère liquide cristallin

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website