La technologie d'affichage intégré mixte d'oxyde polycristallin à basse température (LTPO) est une nouvelle technologie d'affichage intégré, combinant le silicium poly-cristallin à basse température (LTPS) et les semi-conducteurs à base d'oxyde métallique (MOS), visant à offrir une solution d'affichage haute performance et économe en énergie. Pendant le processus d'intégration du LTPO, l'hydrogène peut se diffuser de la couche de silicium polycristallin à basse température vers la couche d'oxyde métallique, entraînant la dérive de la tension de seuil du dispositif et la détérioration de la stabilité, ce qui affecte les performances de l'affichage. Dans cet article, les différences dans la présence de l'hydrogène dans les périphériques LTPS et MOS et son impact sur les périphériques MOS sont discutées en détail. Les méthodes de blocage de l'hydrogène pour les périphériques MOS sont récapitulées : en utilisant différents niveaux intermédiaires, les processus de dopage ionique. De plus, l'article compile les méthodes de blocage de l'hydrogène pour les périphériques LTPO, afin d'améliorer la stabilité et la fiabilité des périphériques LTPO. Enfin, les perspectives d'application de la technologie LTPO via le blocage de l'hydrogène dans le domaine des affichages haute performance.

LTPO;metal oxide;low temperature polysilicon;TFT;hydrogen diffusion